俄罗斯乌拉尔联邦大学和俄罗斯科学院乌拉尔分院电物理研究所科研人员联合研发出一种钛基四组分纳米复合涂层TiSiCN(钛、硅、碳、氮)新工艺，可作为耐磨性保护涂层用于保护飞机和燃气涡轮发动机等部件，广泛应用于金属加工和生物医学等领域。该复合涂层不需要高温，也无须附加装置和材料。研究结果发表在《Membranes》杂志上。
俄科研人员采用等离子体化学分解法，用具有空心阴极和活性阳极的气体放电装置来制造多组分活性介质，无须单独安装电离和过滤系统。科研人员使用含有参与最终结构形成的SiC(硅、碳)和SiN(硅、氮)键的有机硅前体—挥发性低毒液体，通过等离子体中的电子束蒸发钛，将钛添加到前体气体介质中，在处理过的部件表面形成TiN(钛、氮)、TiC(钛、碳)或 TiCN(钛、碳、氮)晶体组成的纳米晶相涂层。该工艺比磁控溅射具有更高的沉积速率和高离子通量密度，且成本低、无污染。
注：本文摘自国外相关研究报道，文章内容不代表本网站观点和立场，仅供参考。
来源：科技部合作司
芒钛网发布此信息目的在于传播更多信息，与本站立场无关。部分内容来自互联网，不保证该信息（包括但不限于文字、图片、图表及数据）的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等，如无意中侵犯媒体或个人知识产权，请及时来电或致函告之，本站将在第一时间内给予删除处理。
